聯(lián)系人：蔣經(jīng)理
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地址：廈門市思明區(qū)呂嶺路1733號(hào)2009單元
型號(hào)：602937-04
• 對(duì)應(yīng) VMIC 型號(hào)：VMIVME-4512-333-004512-000 G
• 功能：6U VME 總線模擬量輸入/輸出接口板，專為 Applied Materials、SVG、Thermco 等半導(dǎo)體設(shè)備配套設(shè)計(jì)。
技術(shù)規(guī)格
• 總線接口：VME 6U，32-bit 數(shù)據(jù)寬度，支持 D16/D32 傳輸
• 模擬量輸入：16 路差分輸入，可配置為 ±10 V、±5 V、0–10 V、4–20 mA
• 模擬量輸出：8 路電壓輸出，±10 V 或 0–10 V，12-bit 分辨率
• 采樣速率：100 kHz 總吞吐（所有通道總和）
• 隔離：250 V DC 通道-通道、通道-系統(tǒng)地
• 精度：±0.1 % FS（輸入），±0.2 % FS（輸出）
• 電源需求：+5 V DC 3 A、±12 V DC 200 mA，由 VME 背板提供
• 工作溫度：0 °C ~ +60 °C
• 尺寸：233 mm × 160 mm（6U 單槽）
• 連接器：前面板 96-pin DIN 41612 母座，便于現(xiàn)場(chǎng)線纜快速拆卸
• 狀態(tài)指示：每通道 LED 過壓、開路、短路報(bào)警
功能特點(diǎn)
• 軟件透明：支持 VME A16/A24 尋址，寄存器級(jí)讀寫，無需額外驅(qū)動(dòng)即可在 VxWorks、Linux RT 下運(yùn)行
• 現(xiàn)場(chǎng)診斷：自動(dòng)檢測(cè)輸入開路、短路、超量程，并通過 LED 與中斷上報(bào)
• 熱插拔設(shè)計(jì)：支持 VME 熱插拔規(guī)范，可在不停機(jī)條件下更換模塊
• 冗余配置：兩臺(tái)同型號(hào)板卡并聯(lián)運(yùn)行，主備切換時(shí)間 < 1 ms，滿足 7×24 連續(xù)工藝需求
• 抗干擾：全板敷形涂層，符合 SEMI F47 電壓跌落標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng)用場(chǎng)景
• 半導(dǎo)體 CVD、PVD、刻蝕機(jī)臺(tái)：實(shí)時(shí)采集腔體壓力、溫度、流量，輸出閥門、泵速控制信號(hào)
• 光伏擴(kuò)散爐：多點(diǎn)溫度閉環(huán)控制與工藝氣體流量調(diào)節(jié)
• 工業(yè)熱處理爐：高溫區(qū)熱電偶信號(hào)采集與加熱器功率輸出
• 實(shí)驗(yàn)室等離子體裝置：高精度電壓/電流掃描與實(shí)時(shí)反饋控制
安裝與維護(hù)
• 直接插入 6U VME 機(jī)箱任意槽位，系統(tǒng)上電自動(dòng)識(shí)別
• 隨板提供 Windows/VxWorks 示例程序與寄存器定義手冊(cè)，便于二次開發(fā)
• 建議每 12 個(gè)月進(jìn)行精度校準(zhǔn)，校準(zhǔn)接口位于前面板，無需拆機(jī)
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)
CE、UL、cUL、SEMI S2/S8 認(rèn)證，滿足半導(dǎo)體工廠潔凈室與抗靜電要求。
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