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EMERSON SLS1508實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)

記錄

記錄用來(lái)記錄事件，狀態(tài)和過(guò)程順序。記錄文件可以存儲(chǔ)在硬盤上，通過(guò)顯示器顯示并輸出到打印機(jī)或數(shù)據(jù)媒介如CD. DVD或閃存用于深入分析。另外存檔文件可以自動(dòng)通過(guò)FTP傳送到以太網(wǎng)上的任意點(diǎn)。DigiBrowse軟件可以用來(lái)顯示數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為ASCII (CSV文件)如可以使用Excel進(jìn)行深入分析。

有以下記錄類型: 

信號(hào)順序記錄

信號(hào)順序記錄用來(lái)記錄事件，如過(guò)程和系統(tǒng)信息，切換信息和提示。甚至操作員的干預(yù)操作可以連同用戶名和時(shí)間標(biāo)記一起詳細(xì)記錄下來(lái)。用戶可以決定記錄哪種優(yōu)先級(jí)的信息。可以以2ms的精度記錄下整個(gè)系統(tǒng)的事件(順序事件)。信號(hào)順序記錄

可以連接行式打印機(jī)，這樣每當(dāng)收到報(bào)警就可以打印出來(lái)。

系統(tǒng)記錄

在特定的間隔或特定的條件下，系統(tǒng)記錄過(guò)程變量的當(dāng)前值或狀態(tài)。

它可以周期性運(yùn)行，或通過(guò)手動(dòng)或事件控制起停。輸出的格式可以自由定義。

干擾源原因記錄

干擾源原因記錄用來(lái)檢查擾動(dòng)的原因。

擾動(dòng)前后的測(cè)量值都以高時(shí)間分辨率記錄在控制器中并存檔在操作員站中。

在同一操作員站上可以配置每種類型的四個(gè)記錄。

Applied Materials 0040-09002 Body, Etch Chamber AMAT

Applied Materials 0010-20819 MAGNET ASSY UNCHARGED 13TI *** AMAT

136-0401 AMAT APPLIED 0240-01704 ETCH CORROSION [NEW]

676110  SEAL PLATE  APPLIED MATERIALS AMAT

J-tech Applied Materials parts inventory 3

Applied Materials 0010-76018 Cassette Handler, Top 150 MM AMAT P-5000

108-0301 AMAT APPLIED 0010-20819 APPLIED MATRIALS COMPONENTS USED

0010-05223  ASSEMBLY, 200MM PLASMA CELL, END PT DETE  APPLIED MATERIALS AMAT 

Applied Materials 0010-22813 ESC ASSY, 200MM, EMAX CT, VHF AMAT

135-0101 AMAT APPLIED 0010-03485 MAGNET ASSY, WP AL 300MM PVD [ASIS]

J-tech Applied Materials parts inventory 2

29684 APPLIED MATERIALS SPINDLE ASSY, LK REFLEXION W 0040-82128 0020-44857

10228 APPLIED MATERIALS GAS BOX, COOLING, 200MM TI-XZ (NEW) 0040-39034

32537 APPLIED MATERIALS DEUBLIN FEEDTHRU ROTARY ASSY CENTER INJ SI 0190-00981

165-0101 AMAT APPLIED 0010-09001 SYSTEMS ELECTRONICS ASSY [ASIS]

Applied Materials 0010-16392 ESC ASSY,  300MM, DUAL ELECTRODE, IA AMAT

13938 APPLIED MATERIALS CNTRL MAGLEV ROT WNTC 300MM, PN: 710000171 0190-11669

28031 APPLIED MATERIALS 300MM PVD SHUTTER FEEDTHROUGH 0021-20825

0500-01083 ASSY ELECTRONIC HEATER-SUSCEPT<wbr>OR LEVELING APPLIED MATERIALS AMAT

32443 APPLIED MATERIALS MAGNET ASSY A-TYPE 13 AL, 0020-20297 0010-26439

134-0101 AMAT APPLIED 0020-01985 0020-01999 APPLIED MATRIALS COMPONENTS [ASIS]

32559 APPLIED MATERIALS INUSA OZONE SNSR CTLR IF, 0190-35874 (PARTS) SCI PLUS

Applied Materials 0021-09601 DPS Metal Upper Chamber Body Assembly

354-0301 AMAT APPLIED 0010-27417 GEARBOX ASSY, SEALED GEARBOX, ENCORE II USED

0010-10932  ASSY, PLASMA APPLICATOR, LIQUID COOLED, RP  APPLIED MATERIALS AMAT

305-0101 AMAT APPLIED 0010-30012 (#1)MAGNETIC DRIVE ASSY, MC ROBOT P5000 [USED]

102-0201 AMAT APPLIED 0190-08067 AE PINNACLE 3152412-223C USED

30361 APPLIED MATERIALS ASSY, HIGH EFFICIENCY RF MATCH, HE, BIAS 0010-13627

26223 APPLIED MATERIALS HEATER LIFT, PRODUCER SE W SGMPH-01AAE-YA<wbr>11 0035-00371

0041-05779 AMAT Applied Materials CATHODE BASE

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