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EMERSON SE5009連接的計算機(jī)進(jìn)行參數(shù)設(shè)置和監(jiān)控

記錄

記錄用來記錄事件，狀態(tài)和過程順序。記錄文件可以存儲在硬盤上，通過顯示器顯示并輸出到打印機(jī)或數(shù)據(jù)媒介如CD. DVD或閃存用于深入分析。另外存檔文件可以自動通過FTP傳送到以太網(wǎng)上的任意點。DigiBrowse軟件可以用來顯示數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為ASCII (CSV文件)如可以使用Excel進(jìn)行深入分析。

有以下記錄類型: 

信號順序記錄

信號順序記錄用來記錄事件，如過程和系統(tǒng)信息，切換信息和提示。甚至操作員的干預(yù)操作可以連同用戶名和時間標(biāo)記一起詳細(xì)記錄下來。用戶可以決定記錄哪種優(yōu)先級的信息?？梢砸?ms的精度記錄下整個系統(tǒng)的事件(順序事件)。信號順序記錄

可以連接行式打印機(jī)，這樣每當(dāng)收到報警就可以打印出來。

系統(tǒng)記錄

在特定的間隔或特定的條件下，系統(tǒng)記錄過程變量的當(dāng)前值或狀態(tài)。

它可以周期性運(yùn)行，或通過手動或事件控制起停。輸出的格式可以自由定義。

干擾源原因記錄

干擾源原因記錄用來檢查擾動的原因。

擾動前后的測量值都以高時間分辨率記錄在控制器中并存檔在操作員站中。

在同一操作員站上可以配置每種類型的四個記錄。

Applied Materials 0040-09002 Body, Etch Chamber AMAT

Applied Materials 0010-20819 MAGNET ASSY UNCHARGED 13TI *** AMAT

136-0401 AMAT APPLIED 0240-01704 ETCH CORROSION [NEW]

676110  SEAL PLATE  APPLIED MATERIALS AMAT

J-tech Applied Materials parts inventory 3

Applied Materials 0010-76018 Cassette Handler, Top 150 MM AMAT P-5000

108-0301 AMAT APPLIED 0010-20819 APPLIED MATRIALS COMPONENTS USED

0010-05223  ASSEMBLY, 200MM PLASMA CELL, END PT DETE  APPLIED MATERIALS AMAT 

Applied Materials 0010-22813 ESC ASSY, 200MM, EMAX CT, VHF AMAT

135-0101 AMAT APPLIED 0010-03485 MAGNET ASSY, WP AL 300MM PVD [ASIS]

J-tech Applied Materials parts inventory 2

29684 APPLIED MATERIALS SPINDLE ASSY, LK REFLEXION W 0040-82128 0020-44857

10228 APPLIED MATERIALS GAS BOX, COOLING, 200MM TI-XZ (NEW) 0040-39034

32537 APPLIED MATERIALS DEUBLIN FEEDTHRU ROTARY ASSY CENTER INJ SI 0190-00981

165-0101 AMAT APPLIED 0010-09001 SYSTEMS ELECTRONICS ASSY [ASIS]

Applied Materials 0010-16392 ESC ASSY,  300MM, DUAL ELECTRODE, IA AMAT

13938 APPLIED MATERIALS CNTRL MAGLEV ROT WNTC 300MM, PN: 710000171 0190-11669

28031 APPLIED MATERIALS 300MM PVD SHUTTER FEEDTHROUGH 0021-20825

0500-01083 ASSY ELECTRONIC HEATER-SUSCEPT<wbr>OR LEVELING APPLIED MATERIALS AMAT

32443 APPLIED MATERIALS MAGNET ASSY A-TYPE 13 AL, 0020-20297 0010-26439

134-0101 AMAT APPLIED 0020-01985 0020-01999 APPLIED MATRIALS COMPONENTS [ASIS]

32559 APPLIED MATERIALS INUSA OZONE SNSR CTLR IF, 0190-35874 (PARTS) SCI PLUS

Applied Materials 0021-09601 DPS Metal Upper Chamber Body Assembly

354-0301 AMAT APPLIED 0010-27417 GEARBOX ASSY, SEALED GEARBOX, ENCORE II USED

0010-10932  ASSY, PLASMA APPLICATOR, LIQUID COOLED, RP  APPLIED MATERIALS AMAT

305-0101 AMAT APPLIED 0010-30012 (#1)MAGNETIC DRIVE ASSY, MC ROBOT P5000 [USED]

102-0201 AMAT APPLIED 0190-08067 AE PINNACLE 3152412-223C USED

30361 APPLIED MATERIALS ASSY, HIGH EFFICIENCY RF MATCH, HE, BIAS 0010-13627

26223 APPLIED MATERIALS HEATER LIFT, PRODUCER SE W SGMPH-01AAE-YA<wbr>11 0035-00371

0041-05779 AMAT Applied Materials CATHODE BASE

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